میکروپروفایلمتر

دستگاه میکروپروفایلومتر ساخته شده توسط شرکت دانش‌بنیان فتح نور میهن، نمونه‌ای توسعه‌یافته از ابزارهای اندازه‌گیری سه‌بعدی در مقیاس میکرو است. این دستگاه بر اساس پدیده­ی تداخل، در دو مد تداخل‌سنجی میکروسکوپی نور سفید و تداخل‌سنجی جابجایی فاز عمل کرده و شکل و ناهمواری سطوح را با دقتی از مرتبه میکرومتر اندازه‌گیری می‌کند. بنابراین غیرمخرب بوده و هیچ آسیبی به نمونه­ی مورد آزمون وارد نمی‌کند.

در کنار دقت و تکرارپذیری از مرتبه میکرومتر، سرعت داده‌برداری بالاتر، وسعت‌دید بیشتر و امکان اندازه‌گیری ناهمواری‌های بزرگتر بدون کاهش دقت از جمله ویژگی‌های را‌ه‌بردی و مزیت‌های این محصول در مقایسه با دستگاه‌های دارای کاربری مشابه است.

شرح مشخصه
SSP-002 مدل
تداخل‌سنجی نور سفید روبشی

تداخل‌سنجی انتقال فازی

روش اندازه­گیری رویه­ی سه­بعدی
اپتیک
لینیک –x4، x۱۰ ، x۲۰ ، x۴۰ (بسته به طراحی) عدسی شیئی میکروسکوپی
 mm22.5 x 2.5 میدان دید (شیئی x۱۰)
۵ مگاپیکسل، تک‌رنگ دوربین
ال­ای­دی با شدت و دریچه متغیر منبع نور
 nm۶۵۰ – ۶۲۰ طول‌موج مرکزی منبع‌نور
مکانیک
پیزوالکتریک و موتور نوع جابجاگر محوری
خازنی/مقاومتی نوع حس‌گر جابجاگر محوری
cm 5 – ۰ دامنه­ی حرکتی در جابجاگر محوری
 µm۱  (مدار باز) و کمتر از µm۱ (مدار بسته) دقت هر گام در جابجاگر محوری
 µm۱ پایداری در مکان جابجاگر محوری
  µm۱ کوچک­ترین گام حرکتی محوری
جابجاگر خطی موتوری دو‌بعدی جابجاگر نمونه
µm ۱ دقت هر گام در جابجاگر نمونه (هر محور)
  mm۲۰۰ دامنه­ی حرکتی جابجاگر نمونه (هر محور)
کامپیوتری/کاربر (نرم­افزار) قابلیت کنترل
قابلیت ساخت سفارشی بر اساس نیاز مشتری نگه­دارنده­ی نمونه