پروفایلومتر نوری سه‌بعدی با دقت میکرومتری (میکروپروفایلومتر)

دستگاه میکروپروفایلومتر ساخته شده توسط شرکت دانش‌بنیان فتح‌اپتیک، نمونه‌ای توسعه‌یافته از تجهیزات اندازه‌گیری سه‌بعدی در مقیاس میکرو است. در طراحی و ساخت این دستگاه  از  تکنولوژی اپتیک بهره‌برده‌ایم که موجب شده هر گونه اندازه‌گیری با این دستگاه غیرمخرب بوده و هیچ آسیبی به نمونه­‌ی مورد آزمون وارد نمی‌کند به عبارت دقیق‌تر این تجهیز براساس پدیده­‌ی تداخل، در دو مد تداخل‌سنجی میکروسکوپی نور سفید و تداخل‌سنجی جابجایی فاز عمل کرده و شکل و ناهمواری سطوح را با دقتی از مرتبه میکرومتر اندازه‌گیری می‌کند.

در کنار دقت و تکرارپذیری از مرتبه میکرومتر، سرعت داده‌برداری بالاتر، وسعت‌دید بیشتر و امکان اندازه‌گیری ناهمواری‌های بزرگتر بدون کاهش دقت از جمله ویژگی‌های را‌ه‌بردی و مزیت‌های این محصول در مقایسه با دستگاه‌های دارای کاربری مشابه است.

شرح مقدار
صحت اندازه‌گیری عمقی

۱۰nm – ۱µm

صحت اندازه‌گیری جانبی   ۲µm >
دقت/تکرارپذیری   ۱µm >
دامنه‌ی حرکتی در جابجاگر محوری پیزوالکتریک

 ۰ – ۵cm

دقت هر گام در جابجاگر محوری پیزوالکتریک

 ۱ µm

دقت هر گام در جابجاگر نمونه (هر محور)

 ۱ µm

دامنه‌ی حرکتی جابجاگر نمونه (هر محور)

۲۰۰  mm