پروفایلومتر نوری سهبعدی با دقت میکرومتری (میکروپروفایلومتر)
دستگاه میکروپروفایلومتر ساخته شده توسط شرکت دانشبنیان فتحاپتیک، نمونهای توسعهیافته از تجهیزات اندازهگیری سهبعدی در مقیاس میکرو است. در طراحی و ساخت این دستگاه از تکنولوژی اپتیک بهرهبردهایم که موجب شده هر گونه اندازهگیری با این دستگاه غیرمخرب بوده و هیچ آسیبی به نمونهی مورد آزمون وارد نمیکند به عبارت دقیقتر این تجهیز براساس پدیدهی تداخل، در دو مد تداخلسنجی میکروسکوپی نور سفید و تداخلسنجی جابجایی فاز عمل کرده و شکل و ناهمواری سطوح را با دقتی از مرتبه میکرومتر اندازهگیری میکند.
در کنار دقت و تکرارپذیری از مرتبه میکرومتر، سرعت دادهبرداری بالاتر، وسعتدید بیشتر و امکان اندازهگیری ناهمواریهای بزرگتر بدون کاهش دقت از جمله ویژگیهای راهبردی و مزیتهای این محصول در مقایسه با دستگاههای دارای کاربری مشابه است.
شرح | مقدار |
صحت اندازهگیری عمقی |
۱۰nm – ۱µm |
صحت اندازهگیری جانبی | ۲µm > |
دقت/تکرارپذیری | ۱µm > |
دامنهی حرکتی در جابجاگر محوری پیزوالکتریک |
۰ – ۵cm |
دقت هر گام در جابجاگر محوری پیزوالکتریک |
۱ µm |
دقت هر گام در جابجاگر نمونه (هر محور) |
۱ µm |
دامنهی حرکتی جابجاگر نمونه (هر محور) |
۲۰۰ mm |