پروفایلومتر نوری سه‌بعدی با دقت نانومتری (نانوپروفایلومتر)
-
-
پیشرفته‌ترین پروفایلومتر نوری سه‌بعدی ساخت ایران
-
قابلیت اندازه‌گیری غیر مخرب از انواع سطوح تخت و کروی، با دقت بهتر از ۵ نانومتر
-
قابلیت اندازه‌گیری نمونه‌های جامد، مایع و شفاف
-
امکان تصویربرداری از نمونه‌های زیستی بدون ایجاد آسیب
-
وسعت دید بالاتر نسبت به تجهیزات مشابه مانند AFM
-
عدم نیاز به آماده‌سازی نمونه و سیستم خلأ
-
تعیین رویه‌ی سه‌بعدی نمونه به‌صورت یک‌جا
-
تعیین سه‌بعدی تغییرات سریع در ارتفاع مانند پله و شکستگی
-
تعیین دینامیک سه‌بعدی نمونه‌ها
-
دارای گواهی‌نامه فناوری نانو طبق استاندارد ISO/TS 18110
-
| شرح | مقدار |
| صحت اندازه‌گیری عمقی |
۵nm > |
| صحت اندازه‌گیری جانبی | ۶۳۰nm > |
| دقت/تکرارپذیری | ۱۰۰nm > |
| دامنه‌ی حرکتی در جابجاگر محوری پیزوالکتریک |
۰ – ۱۰۰µm |
| دقت هر گام در جابجاگر محوری پیزوالکتریک |
۱ nm |
| دقت هر گام در جابجاگر نمونه (هر محور) |
۱۰ µm |
| دامنه‌ی حرکتی جابجاگر نمونه (هر محور) |
۲۰۰ mm |